真空电镀加工设备操作流程

一、预备作业:

1. 坚持真空室内清洁,单调,必要时应作清洁处理.

2. 承认抽气体系,机组转向,清洁,油量符合说明书规则﹒

3. 接通全部冷却水.

4. 关闭全部阀门(如预热松散泵，则前级阀不关闭).

5. 接通气源.

二、蒸镀作业预备:

1. 在龙架上装好蒸腾塑料件.

2. 将龙架由小车推入真空室,使电极严密符合,嵌入离合器定位结实应能旋.

3. 关紧大门及放气阀.

三、抽气-抽气体系机组的作业:

1. 提早1小时将松散泵加热,此刻用机械泵作业,下级阀翻开.

2. 机械泵抽气:抵达加热温度,先关下闭阀门(加热不间断)翻开上阀,对真空容器粗抽.

3. 罗茨泵抽气:当真空度抵达730mmHG(即负压730mmHG)后方可建议罗茨泵,留心不得恣意提早建议罗茨泵,避免过载构成损坏,罗茨泵作业后应调查热偶计真空规来了解真空度﹒

4. 松散泵抽气﹕当真空所指真空度抵达2°t时,先翻开下阀,当真空所指真空度抵达3°t时,翻开主阀关上阀,使松散泵对真空室抽气.

5. 当指针抵达7×10-2pa或以上数据可进行蒸镀作业,若继续抽气时,东莞真空电镀度将不断升高.

四、蒸镀

当真空室己抵达所需真空深圳真空电镀度后,可进行蒸镀操作.

蒸腾电流之额外大值只允许在不逾越30秒的时间内使用.

五、停机

在完成本作业日结束一次蒸镀后,应按下述过程停机.

1. 关紧大门,使容器在高真空下关闭SG-3真空计.

2. 关气动高真空阀,关预抽上阀,关罗茨泵,关机散泵加热﹒

3. 在松散泵间断加热1小时后关下阀及关机械泵.

4. 关冷却水及气压.

5. 关总电源.